| 主权项 |
1.一种振动仪器,包括: 一槽,系用以容纳一液体及至少一欲处理之基板者 ; 一具有至少一主要表面之振动构件,该振动构件系 至少部份地被收纳在该槽内;及 一振动器,系与该振动构件可操作地连接者, 其特征在于:该振动器系可操作地使该振动构件在 该液体中朝向一大致垂直于该振动构件之主要表 面的方向往复移动。 2.如申请专利范围第1项之振动仪器,其中该振动构 件在该液体中之往复移动使该液体振动。 3.如申请专利范围第2项之振动仪器,其中该液体之 振动使该基板振动。 4.如申请专利范围第1项之振动仪器,其中该振动构 件是一刚性板构件。 5.如申请专利范围第1项之振动仪器,其中该振动器 可使该振动构件在该液体中以20Hz至50Hz之频率往 复移动。 6.如申请专利范围第1项之振动仪器,其中该振动器 系透过至少一板簧与该振动构件连接。 图式简单说明: 第1图是本新型实施例之振动仪器的立体图; 第2图是第1图所示之振动仪器的侧视图;及 第3图是第1图所示之振动仪器之悬吊机构的放大 立体图。 |
