发明名称 |
Verfahren zur zerstörungsfreien Materialprüfung von hochreinem polykristallinen Silicium |
摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur kontaminationsfreien und zerstörungsfreien Prüfung eines Polysiliciumformkörpers auf einen Materialfehler, dadurch gekennzeichnet, dass der Polysiliciumformkörper mit Ultraschallwellen durchstrahlt wird und die Ultraschallwellen nach Durchlaufen des Polysiliciumformkörpers von einem Ultraschallempfänger registriert werden und so Materialfehler im Polysilicium detektiert werden.
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申请公布号 |
DE102006040486(A1) |
申请公布日期 |
2008.03.13 |
申请号 |
DE200610040486 |
申请日期 |
2006.08.30 |
申请人 |
WACKER CHEMIE AG |
发明人 |
SCHANTZ, MATTHAEUS;LICHTENEGGER, BRUNO;HEGEN, ANDREAS |
分类号 |
G01N29/07;G01N29/28;G01N29/44 |
主分类号 |
G01N29/07 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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