| 发明名称 |
SCHALTUNGSANORDNUNG MIT MINDESTENS EINEM NANOELEKTRONISCHEN BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59914630(D1) |
申请公布日期 |
2008.03.13 |
| 申请号 |
DE1999514630 |
申请日期 |
1999.12.01 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
ROESNER, WOLFGANG;RAMCKE, TIES;RISCH, LOTHAR |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L27/06;H01L21/8238;H01L23/528;H01L27/00;H01L27/092;H01L27/10;H01L29/06;H01L29/76 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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