摘要 |
Es wird eine Vorrichtung, insbesondere ein Mikrosystem, mit einer Einrichtung zur Energieumwandlung beschreiben, die eine piezoelektrische, mechanische schwingfähige Membranstruktur (3) zur Umwandlung von mechanischer Energie in elektrische Energie aufweist, wobei die Membranstruktur (3) mit einem Übertrager (8) gekoppelt ist und durch eine Bewegung des Übertragers (8) auslenkbar ist und wobei die Bewegung des Übertragers (8) berührungslos durch Wechselwirkung des Übertragers (8) mit einem sich bewegenden Teil bewirkbar ist.
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