Vorrichtung und Verfahren zum Oberflächenkonturmessen,申请号DE19976038493-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Vorrichtung und Verfahren zum Oberflächenkonturmessen
摘要
申请公布号	DE69738493(D1)	申请公布日期	2008.03.13
申请号	DE19976038493	申请日期	1997.02.03
申请人	MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY	发明人	SHIRLEY, LYLE G.;MERMELSTEIN, MICHAEL S.
分类号	G01B11/24	主分类号	G01B11/24
代理机构		代理人
主权项
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