发明名称 Verfahren zur Herstellung von Speicherbauelementen
摘要
申请公布号 DE102006030015(B4) 申请公布日期 2008.03.13
申请号 DE200610030015 申请日期 2006.06.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 CASPARY, DIRK;RIEDEL, STEPHAN;PARASCANDOLA, STEFANO
分类号 H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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