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发明名称 Method zur elektrostatischen Anziehung und Verarbeitung eines isolierneden glass Substrates
摘要
申请公布号 DE60037885(D1) 申请公布日期 2008.03.13
申请号 DE20006037885 申请日期 2000.05.25
申请人 TOTO LTD.;ULVAC INC. 发明人 KITABAYASHI, TETSUO;HORI, HIROAKI;UCHIMURA, TAKESHI;TATENO, NORIAKI;FUWA, KOH;MAEHIRA, KEN
分类号 H01L21/68;B23Q3/15;B23Q3/154;H01L21/683;H02N13/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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