发明名称 BOLOMETER AND METHOD FOR PRODUCING A BOLOMETER
摘要 <p>Ein Bolometer umfasst eine Membran, einen ersten Abstandshalter und einen zweiten Abstandshalter, wobei die Membran eine Widerstandsschicht und eine Kontaktschicht umfasst. Die Kontaktschicht weist an einer einem Untergrund zugewandten Seite einen ersten Kontaktbereich auf, an dem der erste Abstandshalter die Kontaktschicht elektrisch kontaktiert, und einen zweiten Kontaktbereich auf, an dem der zweite Abstandshalter die Kontaktschicht elektrisch kontaktiert. Dadurch wird die Membran in einem vorbestimmten Abstand zu dem Untergrund gehalten. Die Kontaktschicht ist lateral durch einen Spalt unterbrochen, so dass sich die Kontaktschicht zumindest in zwei Teile gliedert, von denen der erste Teil den ersten Kontaktbereich und der zweite Teil den zweiten Kontaktbereich aufweist und innerhalb der Kontaktschicht keine direkte Verbindung von dem ersten Kontaktbereich und dem zweiten Kontaktbereich existiert, und wobei sich die Widerstandsschicht in Kontakt zu dem ersten Teil der Kontaktschicht und zu dem zweiten Teil der Kontaktschicht befindet.</p>
申请公布号 WO2008028512(A1) 申请公布日期 2008.03.13
申请号 WO2006EP08790 申请日期 2006.09.08
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;VOGT, HOLGER;RUSS, MARCO 发明人 VOGT, HOLGER;RUSS, MARCO
分类号 G01J5/20;H01L27/146 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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