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发明名称
Microelectronic Device with Anti-Stiction Coating
摘要
One embodiment of a microelectronic device includes a movable plate including a lower surface, a bump positioned on the lower surface, and an anti-stiction coating positioned only on the bump.
申请公布号
US2008063790(A1)
申请公布日期
2008.03.13
申请号
US20070936710
申请日期
2007.11.07
申请人
REBOA PAUL F
发明人
REBOA PAUL F.
分类号
B05D5/08
主分类号
B05D5/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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