检查装置

摘要

本发明涉及一种在例如大型液晶显示器(LCD)的玻璃基板等被检查物的检查中所适用的检查装置。在该检查装置中，通过成像透镜成像利用物镜光学系统形成的像，并在具有相对于被检查物的检查面大致平行地进行传送的转像光学系统的水平延长镜筒内，传送该成像的像，通过垂直延长镜筒内的转像光学系统，向下方传送利用该水平延长镜筒内的转像光学系统传送的像，利用观察光学系统可观察在该垂直延长镜筒内传送的像。

主权项

1.一种检查装置，其特征在于，具有：载置被检查物的载物台；物镜光学系统，形成载置在上述载物台上的上述被检查物的像；成像透镜，对由上述物镜光学系统形成的上述像进行成像；水平延长镜筒，具有第1转像光学系统，该第1转像光学系统将由上述成像透镜成像的上述像沿着上述被检查物的检查面平行地传送；垂直延长镜筒，长度形成为伸出到比上述载物台更低的下方，具有第2转像光学系统，该第2转像光学系统与上述水平延长镜筒连结，将由上述第1转像光学系统传送的上述像向下方传送；观察光学系统，具有折返观察镜筒和目镜镜筒，该折返观察镜筒与上述垂直延长镜筒连结，用于将由上述第2转像光学系统传送的上述像向上方折返，该目镜镜筒与上述折返观察镜筒连结，对由上述第2转像光学系统传送的上述像进行观察；以及非聚焦光学系统，设在上述垂直延长镜筒内或上述观察光学系统的垂直方向的转像光学系统的一部分，用平行光传送上述像，上述非聚焦光学系统构成为可将其一部分在垂直方向上伸缩，上下移动上述目镜镜筒来调整眼点的高度。