| 发明名称 | 感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明通过感光性树脂组合物，可以形成可以进行碱性显影且具有优异的耐热性、强度和伸长率的聚酰亚胺膜，该组合物含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101142529A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
| 申请号 | CN200680008236.3 | 申请日期 | 2006.03.14 |
| 申请人 | 东丽株式会社 | 发明人 | 谷口龙一郎;三井博子;诹方充史 |
| 分类号 | G03F7/037(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/004(2006.01);C08G73/10(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/037(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 熊玉兰;李平英 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂组合物，含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂，[化1]式中、R1表示具有至少1个芳环的一～三价有机基团，R2～R4表示具有不饱和键的聚合性基团，R5～R7表示二价有机基团，R2～R4 和R5～R7分别可以相同，也可以不同，另外，o、p、q表示0～1的整数，r、s、t分别独立地表示1～10的整数，但是o+p+q≥1。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||