电光装置，电光装置的制造方法，以及电子设备

摘要

把在基板上形成的遮光膜，设置为交替地配置不含氮的薄膜与含有氮的薄膜的多层薄膜结构。由于在遮光膜中形成含有氮的薄膜，所以因退火处理之际的热应变而发生的应力被含有氮的薄膜所吸收，因此可以防止对以遮光膜为起点的绝缘膜或半导体层的裂纹的发生。

主权项

1.一种在基板上具有层间绝缘膜和半导体层电光装置，其特征在于，在基板之上形成的遮光膜具有交替地配置不含有添加材料的含有高熔点金属或高熔点金属化合物的金属硅化物薄膜与含有氮或氮类化合物的添加材料的含有高熔点金属或高熔点金属化合物的金属硅化物薄膜的多层薄膜结构。