研磨液再利用装置及其系统

摘要

一种研磨液再利用装置及其系统，应用于化学机械研磨工艺，该系统包含研磨液循环管路、至少一个连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装胃、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；其中该装置包括回收已过滤的研磨液的回收泵、及抛弃过滤排出的废液与废气的排废单元。

主权项

1.一种研磨液再利用系统，应用于化学机械研磨工艺，该系统包含研磨液循环管路、至少一个连接该研磨液循环管路的研磨液供给单元、若干个连接该研磨液循环管路的研磨液再利用装置、及若干个分别连接该研磨液再利用装置的化学机械研磨单元；该装置包括：本体，具有连接该研磨液循环管路的研磨液入口、排气口、排废口及连接于该化学机械研磨单元的研磨液出口；过滤单元，设置于该本体内，并滤出由该研磨液入口导入的研磨液所含的研磨颗粒；排废单元，分别连接该本体的该排废口及于外部处理系统用以抛弃由该本体排出的废液；其特征在于，该本体具有研磨液回收口和贮存空间，该贮存空间容置经由该过滤单元滤出研磨颗粒后的该研磨液；回收泵，一端连接该本体的该研磨液回收口，另一端连接于该研磨液循环管路，该回收泵由该研磨液回收口抽回该贮存空间中已过滤的该研磨液，并传送至该研磨液循环管路，以供该工艺的重复使用。