| 发明名称 | 处理装置和处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明的处理装置具有：收纳多个被处理体(w)且前面具有取出被处理体(w)的取出口(3a)和密闭取出口(3a)的盖(3b)的收纳容器(3)；搬入收纳容器(3)的搬入区域(Sa)；维持在与搬入区域(Sa)不同的气氛下的移载区域(Sb)；将搬入区域(Sa)和移载区域(Sb)之间隔开并具有开口部(13)的隔壁(6)；开关隔壁(6)的开口部(13)的门(14)；和将收纳容器(3)载置于搬入区域(Sa)的开口部(13)附近的载置部(10)。收纳容器(3)的前面一侧的两侧设置有被按压部(20)。隔壁(6)上设置有具有从侧方抵上收纳容器(3)的被押压部(20)且使收纳容器(3)保持在被按压在隔壁(6)的开口部(13)的状态的按压辊(22)的按压保持机构(23)。 | ||
| 申请公布号 | CN101140893A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
| 申请号 | CN200710149139.2 | 申请日期 | 2007.09.04 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 高桥喜一;小山胜彦 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种处理装置，其特征在于，包括：收纳容器，收纳多个被处理体，前面具有取出该被处理体的取出口和密闭该取出口的盖；搬入该收纳容器的搬入区域；维持在与该搬入区域不同的气氛下的移载区域；将所述搬入区域和所述移载区域之间隔开，并且具有开口部的隔壁；开关所述隔壁的开口部的门；和将所述收纳容器载置于搬入区域的所述开口部附近的载置部，其中，所述收纳容器的前面一侧的两侧设置有被按压部，所述隔壁上设置有按压保持机构，所述按压保持机构具有从侧方抵上所述收纳容器的被押压部，并使所述收纳容器保持在被按压在所述隔壁的开口部的状态的按压辊。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||