一种离子束导管

摘要

本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束，其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明，一种导管包括一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。

主权项

1.一种用于离子注入机中的离子束的导管，其位于注入机中与被注入的晶片相邻近接的位置，以便在注入过程中约束晶片中和所使用的带电粒子，所述导管具有一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。