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发明名称
摘要
申请公布号	JP4059240(B2)	申请公布日期	2008.03.12
申请号	JP20040302516	申请日期	2004.10.18
申请人		发明人
分类号	H01L21/60;H01L23/52;H01L21/3205	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
地址

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