一种提高机械手示教效率的方法

摘要

本发明提供了一种提高机械手示教效率的方法，可有效解决片库安装误差对机械手传输的影响，提高机械手示教效率。所述方法包括步骤1：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构；步骤2：分别示教机械手在自定义坐标系下位于片库中最低槽和最高槽的取片或放片位置；步骤3：通过最低槽或最高槽的取片或放片位置可计算出机械手在片库中间槽的每个槽的取片或放片动作的相关位置。本发明的主要用途是在半导体曝光制程中帮助机械手在片库中以较高效率完成硅片的取或放操作。

主权项

1.一种提高机械手示教效率的方法，所述机械手需在片库中进行取片和放片操作，所述片库包含有数个按顺序编号的可存片的槽，其特征在于，它包括以下步骤：步骤1：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构；步骤2：分别示教机械手在自定义坐标系下位于片库中最低槽和最高槽的取片或放片位置；步骤3：通过最低槽或最高槽的取片或放片位置可计算出机械手在片库中间槽的每个槽的取片或放片动作的相关位置。