发明名称 | 提高金属氧化物半导体材料气敏性能的方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于提高氧化物半导体材料气敏性能的新方法,其特征是采用贵金属量子点作为催化剂,对氧化物半导体材料进行表面修饰,从而达到提高气体传感器灵敏度和选择性的目的。本发明制作的气体传感器可用于低浓度气体的检测。目前半导体型气体传感器的检测下限为一般为几个ppm左右,很难检测到ppb量级,这样的敏感性能不适用于环境或工业安全等领域的监测。而采用本发明方法制作的气体传感器完全可以满足这方面的要求。 | ||
申请公布号 | CN101140254A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
申请号 | CN200710047110.3 | 申请日期 | 2007.10.16 |
申请人 | 上海大学 | 发明人 | 张源;向群;徐甲强;许鹏程 |
分类号 | G01N27/12(2006.01) | 主分类号 | G01N27/12(2006.01) |
代理机构 | 上海上大专利事务所 | 代理人 | 何文欣 |
主权项 | 1.一种提高金属氧化物半导体材料气敏性能的方法,其特征在于该方法的具体步骤为:将粒径为3-10nm的贵金属量子点在一定的介质中超声分散10-50min后,均匀滴加到金属氧化物半导体材料中,而后烘干。其中贵金属量子点的用量为金属氧化物半导体材料质量的0.1%-1%。 | ||
地址 | 200444上海市宝山区上大路99号 |