利用加热热塑型聚合物制备纳米图案的方法

摘要

一种纳米技术领域的利用加热热塑型聚合物制备纳米图案的方法，首先加工原始宽尺度的印章，然后用热塑性聚合物的预聚体旋涂或者沉积到原始印章表面，固化后将热塑性聚合物从原始印章的表面揭开，得到复制的热塑性聚合物图案，最后加热聚合物，利用热塑性聚合物加热收缩的特性，减小聚合物上图案的线宽，冷却后变形得以保持，得到最终需要的小线宽的聚合物图案。本发明可以在一块原始印章上通过旋涂或者沉积工艺非常方便地得到线宽缩小的纳米尺度图案，使得制备纳米图案的效率得到大幅度提高、成本也显著降低。同时由于可以通过此方法缩小印章线宽，因此减少了对原始印章制备精度的要求。

主权项

1.一种利用加热热塑型聚合物制备纳米图案的方法，其特征在于：首先加工原始宽尺度的印章，然后用热塑性聚合物的预聚体旋涂或者沉积到原始印章表面，固化后将热塑性聚合物从原始印章的表面揭开，得到复制的热塑性聚合物图案，最后加热聚合物，利用热塑性聚合物加热收缩的特性，减小聚合物上图案的线宽，冷却后变形得以保持，得到最终需要的小线宽的聚合物图案。