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发明名称
METHOD OF CLEANING OPTICAL SURFACES OF AN IRRADIATION UNIT IN A TWO-STEP PROCESS
摘要
申请公布号
EP1896904(A2)
申请公布日期
2008.03.12
申请号
EP20060756077
申请日期
2006.06.07
申请人
PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人
DERRA, GUENTHER HANS;KRUECKEN, THOMAS;METZMACHER, CHRISTOF;WEBER, ACHIM;ZINK, PETER
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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