| 发明名称 | 精密定位装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种构造简单、能够将定位对象物在多维空间内在多轴方向上精密地定位的精密定位装置。在多轴方向上具有自由度的精密定位装置(1)具备1个一体构造物(2)、和多个伸缩驱动器(4a、4b、4c)；定位对象物的各轴方向的移动是通过使定位对象物仅向该方向移动而变形的一体构造物(2)的弹性变形来进行的；产生弹性变形的力是基于组装在一体构造物(2)中的伸缩驱动器(4a、4b、4c)的伸缩的力。伸缩驱动器(4a、4b、4c)可以由压电元件构成。 | ||
| 申请公布号 | CN101142633A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
| 申请号 | CN200580049099.3 | 申请日期 | 2005.03.16 |
| 申请人 | 平田机工株式会社 | 发明人 | 大田黑彻典 |
| 分类号 | G12B5/00(2006.01);H02N2/00(2006.01);H01L41/09(2006.01) | 主分类号 | G12B5/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种精密定位装置，是在多轴方向上具有自由度的精密定位装置，其特征在于，具备1个一体构造物、和多个伸缩驱动器；定位对象物的各轴方向的移动是通过使上述定位对象物仅向该方向移动而变形的一体构造物的弹性变形来进行的；产生上述弹性变形的力是基于组装在上述一体构造物中的上述伸缩驱动器的伸缩的力。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||