| 发明名称 | 一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，包括：由双层氮化硅SiN<SUB>x</SUB>薄膜分别形成的支撑结构和微反射镜结构，支撑结构同时也作为红外辐射吸收层，用于吸收红外辐射；微反射镜结构用于与支撑结构形成红外吸收共振腔，吸收红外辐射，提高支撑结构对于红外辐射的吸收效率，同时还作为光学读出的反射镜；所述支撑结构和微反射镜结构通过SiN<SUB>x</SUB>材料连接。本发明同时公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器的制作方法。利用本发明，由于支撑结构同时充当红外辐射吸收层，微反射镜结构背面金属可以反射红外辐射，所以大大提高支撑膜对于红外辐射的吸收效率和填充因子。另外，本发明还提高了系统探测极限灵敏度。 | ||
| 申请公布号 | CN101140185A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
| 申请号 | CN200610112884.5 | 申请日期 | 2006.09.06 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 陈大鹏;叶甜春;欧毅;董立军;刘辉;胥兴才;韩敬东;李超波;焦彬彬;黄庆文;石莎莉;伍小平;张青川;董凤良;熊慎明 |
| 分类号 | G01J5/10(2006.01);G01J5/20(2006.01);B81B7/00(2006.01);B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | G01J5/10(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1.一种非制冷红外焦平面阵列探测器，其特征在于，该探测器包括：由双层氮化硅SiNx薄膜分别形成的支撑结构和微反射镜结构，支撑结构同时也作为红外辐射吸收层，用于吸收红外辐射；微反射镜结构用于与支撑结构形成红外吸收共振腔，吸收红外辐射，提高支撑结构对于红外辐射的吸收效率，同时还作为光学信号读出的反射镜；所述支撑结构和微反射镜结构通过SiNx材料连接。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 | ||