用于热损失压力测量的装置和方法

摘要

用来测量环境气体压力的热损失真空压力计包括电阻型敏感元件和电阻型补偿元件。电阻型补偿元件在电路中与敏感元件一起暴露在实质上匹配的环境中。电源与敏感元件和补偿元件相连接用来施加通过元件的电流。通过敏感元件的电流实质上大于通过补偿元件的电流。测量电路与敏感元件和补偿元件相连接，用来基于敏感元件和补偿元件的电响应确定在敏感元件和补偿元件暴露在其中的环境中气体的压力。

主权项

1.一种用来测量环境气体压力的热损失真空压力计，其中包括：电阻型敏感元件；在电路中与敏感元件一起暴露在实质上匹配的环境中的电阻型补偿元件；与敏感元件和补偿元件相连接用来施加通过元件的电流的电源，通过敏感元件的电流实质上大于通过补偿元件的电流，敏感元件和补偿元件有不同的长度；以及与敏感元件和补偿元件相连接基于敏感元件和补偿元件的电响应确定在敏感元件和补偿元件暴露在其中的环境中气体压力的测量电路。