| 发明名称 | 具有中空纤维的研磨垫及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有中空纤维的研磨垫及其制造方法，所述研磨垫包括一本体和复数条中空纤维。所述本体具有一研磨表面。所述中空纤维位于所述本体内且开口于所述研磨表面，其中每一中空纤维的截面的中空面积大于一研磨浆液的研磨粒子的截面积。藉此，研磨浆液和研磨粒子可经由所述中空纤维在所述研磨垫上达到全面流通。 | ||
| 申请公布号 | CN101138838A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
| 申请号 | CN200610128693.8 | 申请日期 | 2006.09.08 |
| 申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;姚伊蓬;蔡超元 |
| 分类号 | B24D17/00(2006.01);B24B29/02(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24D18/00(2006.01) | 主分类号 | B24D17/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘国伟;王允方 |
| 主权项 | 1.一种具有中空纤维的研磨垫，包括：一本体，具有一研磨表面；和复数条中空纤维，位于所述本体内。 | ||
| 地址 | 中国台湾高雄市 | ||