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发明名称 ION IMPLANTING METHODS
摘要
申请公布号 EP1897124(A1) 申请公布日期 2008.03.12
申请号 EP20060771392 申请日期 2006.05.25
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 CULVER, RANDALL;MCDANIEL, TERRENCE, B.;WANG, HONGMEI;DALE, JAMES, L.;LANE, RICHARD, H.;FISHBURN, FRED, D.
分类号 H01L21/266;H01L21/265 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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