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经营范围
发明名称
Micromechanical sensor, sensor array and method
摘要
申请公布号
GB0801930(D0)
申请公布日期
2008.03.12
申请号
GB20080001930
申请日期
2006.07.04
申请人
VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS
发明人
分类号
G01N29/02;G01N29/036;H01L
主分类号
G01N29/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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