发明名称 |
湿法制作金属导线的方法 |
摘要 |
一种湿法制作金属导线的方法,此方法是先在绝缘基板上形成催化黏合层,然后,以无电电镀方式沉积第一金属层,再使用电镀或无电电镀方式沉积第二金属层。之后,再图案化第二金属层与第一金属层,以形成导线。 |
申请公布号 |
CN101140899A |
申请公布日期 |
2008.03.12 |
申请号 |
CN200610151732.6 |
申请日期 |
2006.09.08 |
申请人 |
台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司 |
发明人 |
吴健为;梁硕玮;陈琬琪;杨承慈;刘思呈;陈柏求;王敏全;官永佳 |
分类号 |
H01L21/768(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/768(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种湿法制作金属导线的方法,包括:在绝缘基板上形成催化黏合层;使用无电电镀方式沉积第一金属层;使用电镀或无电电镀方式沉积第二金属层;以及图案化该第二金属层、该第一金属层与该催化黏合层至少其中之一。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |