发明名称 湿法制作金属导线的方法
摘要 一种湿法制作金属导线的方法,此方法是先在绝缘基板上形成催化黏合层,然后,以无电电镀方式沉积第一金属层,再使用电镀或无电电镀方式沉积第二金属层。之后,再图案化第二金属层与第一金属层,以形成导线。
申请公布号 CN101140899A 申请公布日期 2008.03.12
申请号 CN200610151732.6 申请日期 2006.09.08
申请人 台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司 发明人 吴健为;梁硕玮;陈琬琪;杨承慈;刘思呈;陈柏求;王敏全;官永佳
分类号 H01L21/768(2006.01) 主分类号 H01L21/768(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种湿法制作金属导线的方法,包括:在绝缘基板上形成催化黏合层;使用无电电镀方式沉积第一金属层;使用电镀或无电电镀方式沉积第二金属层;以及图案化该第二金属层、该第一金属层与该催化黏合层至少其中之一。
地址 中国台湾新竹县