发明名称 气密阀之密合结构改良
摘要 一种气密阀之密合结构改良,其系于溅镀机腔室通孔之一侧枢设有一连接轴,该连接轴可枢设有数挡板,各挡板连接有一阀门;其中该各挡板上设有一固定孔及数螺孔;而该固定孔可穿设一螺栓,该螺栓上螺设有一螺帽,且该固定孔与螺栓穿设有插销,另该螺孔可螺设螺杆,该螺杆上位于挡板之两面设有螺帽;其中该阀门上相对于各挡板之固定孔分别设有一固定座,该固定座之周缘设有一压板,该压板系设于阀门上;且该固定座可供螺栓螺设,并使螺栓可穿入阀门;藉此阀门与各挡板间,可利用螺栓及螺杆调整阀门之位置,使阀门调整到最密合之状态。
申请公布号 TWM328455 申请公布日期 2008.03.11
申请号 TW096211864 申请日期 2007.07.20
申请人 建铯科技股份有限公司 发明人 刘镒诚
分类号 C23C14/34(2006.01) 主分类号 C23C14/34(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种气密阀之密合结构改良,其系包括: 一阀门本体,该阀门本体设有一通孔,该阀门本体 外侧,相对于通孔之内壁面位置设有一气压缸; 一连接杆,该连接杆系枢设于通孔两端,并使该连 接杆一端系穿出通孔与该气压缸形成连结; 数挡板,各挡板之一端部系固设于该连接杆上,而 另一端则朝下延伸;其中该各挡板上设有一固定孔 及数螺孔;该固定孔可穿设一螺栓,该螺栓上螺设 有一螺帽,该固定孔与螺栓藉由插销穿设组接,且 该螺孔可螺设螺杆,该螺杆上位于挡板之两面设分 别螺设有螺帽; 一阀门,该阀门设于各挡板与抵压面间,使得各挡 板之两螺杆可压抵于阀门上,而该阀门上,相对于 各挡板之固定孔,分别设有一固定座,该固定座之 周缘设有一压板,该压板系设于阀门上;且该固定 座可供螺栓螺设,并使螺栓可穿入阀门;另该阀门 相对于抵压面一面之周缘,设有一O型环,使得该阀 门作动时,O型环确实压抵于抵压面。 2.如申请专利范围第1项所述之气密阀之密合结构 改良,其中,各挡板系呈等间隔之设置于该连接杆 上。 3.如申请专利范围第1项所述之气密阀之密合结构 改良,其中,该各挡板上设有前述之固定孔,该固定 孔之上方及下方分别设有前述之螺孔。 图式简单说明: 第一图系本创作之立体外观示意图。 第二图系本创作之立体分解示意图。 第三图系本创作之侧视示意图。 第四图系本创作之剖面示意图。
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