发明名称 镀膜机台
摘要 一种镀膜机台,其主要系由一镀膜腔壁、一防着罩、至少一磁性件、一夹持件、一镀膜源及至少一磁性感应片所构成。镀膜腔壁构成一镀膜腔。防着罩配置于镀膜腔内。磁性件配置于防着罩上。夹持件配置于镀膜腔内,用以夹持欲进行镀膜之物体。镀膜源配置于防着罩内。磁性感应片藉由磁性件而磁性吸附于防着罩朝向镀膜源之表面上。
申请公布号 TWI294468 申请公布日期 2008.03.11
申请号 TW093112862 申请日期 2004.05.07
申请人 奇美电子股份有限公司 发明人 锺润文;黄浩榕
分类号 C23C14/22(2006.01) 主分类号 C23C14/22(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种镀膜机台,包括: 一镀膜腔壁,构成一镀膜腔; 一防着罩,配置于该镀膜腔内; 至少一磁性件,配置于该防着罩上; 一夹持件,配置于该镀膜腔内,用以夹持欲进行镀 膜之物体; 一镀膜源,配置于该防着罩内;以及 至少一磁性感应片,藉由该磁性件而磁性吸附于该 防着罩朝向该镀膜源之表面上。 2.如申请专利范围第1项所述之镀膜机台,其中该防 着罩具有至少一导轨,而该磁性感应片更卡置于该 导轨内。 3.如申请专利范围第1项所述之镀膜机台,其中该防 着罩之材质包括金属。 4.如申请专利范围第1项所述之镀膜机台,其中该防 着罩之材质包括压克力。 5.如申请专利范围第1项所述之镀膜机台,其中该磁 性件包括多数个永久磁铁。 6.如申请专利范围第5项所述之镀膜机台,其中该些 永久磁铁系嵌置于该防着罩上。 7.如申请专利范围第1项所述之镀膜机台,其中该磁 性感应片包括钢片。 8.如申请专利范围第1项所述之镀膜机台,其中该磁 性感应片之厚度系介于50微米至100微米。 9.一种镀膜机台,包括: 一镀膜腔壁,构成一镀膜腔; 至少一磁性件,配置于该镀膜腔壁; 一夹持件,配置于该镀膜腔内,用以夹持欲进行镀 膜之物体; 一镀膜源,配置于该镀膜腔内;以及 至少一磁性感应片,藉由该磁性件而磁性吸附于该 镀膜腔壁朝向该镀膜源之表面上。 10.如申请专利范围第9项所述之镀膜机台,其中该 镀膜腔壁具有至少一导轨,而该磁性感应片更卡置 于该导轨内。 11.如申请专利范围第9项所述之镀膜机台,其中该 磁性件包括多数个永久磁铁。 12.如申请专利范围第11项所述之镀膜机台,其中该 些永久磁铁系嵌置于该镀膜腔壁内。 13.如申请专利范围第9项所述之镀膜机台,其中该 磁性感应片包括钢片。 14.如申请专利范围第9项所述之镀膜机台,其中该 磁性感应片之厚度系介于50微米至100微米。 图式简单说明: 图1绘示为一习知蒸镀机台的剖面示意图。 图2绘示为本发明一较佳实施例之镀膜机台的剖面 示意图。 图3绘示为防着罩之局部示意图。 图4A与4B绘示为图2之A区的两种放大图。 图5绘示为本发明另一较佳实施例之镀膜机台的剖 面示意图。
地址 台南县台南科学工业园区奇业路1号