发明名称 微型图像的制作方法
摘要 一种微型图像的制作方法,包括下列步骤:提供一清洁无污染之媒介物体;将光阻材料之微流体布着于媒介物体的表面而形成一第一微流体层;以及利用一第一光罩对第一微流体层进行曝光与显影,并获得所欲之精确的微型图像。其中,第一微流体层显影前的宽度大于第一微流体层显影后之微型图像的宽度,而且,第一微流体层显影前的高度大于第一微流体层显影后之微型图像的高度。
申请公布号 TWI294529 申请公布日期 2008.03.11
申请号 TW093140029 申请日期 2004.12.22
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈锦泰;邱庆龙;洪基彬
分类号 G02B27/10(2006.01) 主分类号 G02B27/10(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种微型图像的制作方法,包括下列步骤: 提供一清洁无污染之媒介物体; 将一光阻材料之微流体布着于该媒介物体的表面 而形成一第一微流体层;以及 利用一第一光罩对该第一微流体层进行曝光与显 影,并获得所欲之精确的微型图像。 2.如申请专利范围第1项所述之微型图像的制作方 法,其中该第一微流体层显影前的宽度大于该第一 微流体层显影后之微型图像的宽度,而且,该第一 微流体层显影前的高度大于该第一微流体层显影 后之微型图像的高度。 3.如申请专利范围第1项所述之微型图像的制作方 法,更包括下列步骤: 在该第一微流体层中形成一间隙; 将光阻材料之微流体布着于该间隙中形成一第二 微流体层;以及 利用一第二光罩对该第二微流体层进行曝光与显 影,并获得所欲之精确的微型图像。 4.如申请专利范围第3项所述之微型图像的制作方 法,其中该第一微流体层显影前的宽度大于该第一 微流体层显影后之微型图像的宽度,而且,该第一 微流体层显影前的高度大于该第一微流体层显影 后之微型图像的高度。 5.如申请专利范围第1项所述之微型图像的制作方 法,其中该第一微流体层为微流体连续堆叠布着于 该媒介物体表面,而形成无间距之概略线条。 6.如申请专利范围第5项所述之微型图像的制作方 法,其中该第一微流体层显影前的宽度大于该第一 微流体层显影后之微型图像的宽度,而且,该第一 微流体层显影前的高度大于该第一微流体层显影 后之微型图像的高度。 7.如申请专利范围第1项所述之微型图像的制作方 法,其中该第一微流体层为微流体连续堆叠布着于 该媒介物体表面,而围绕成概略的中空框架图像。 8.如申请专利范围第7项所述之微型图像的制作方 法,其中该第一微流体层显影前的宽度大于显影后 该第一微流体层之微型图像的宽度,而且,该第一 微流体层显影前的高度大于该第一微流体层显影 后之微型图像的高度。 9.一种微型图像的制作方法,包括下列步骤: 提供一清洁无污染之媒介物体; 将复数种不同颜色之光阻材料的微流体依序分别 布着于该媒介物体表面的不同位置而形成复数个 微流体层;以及 依序分别以光罩对该等微流体层曝光显影,以获得 各种颜色所欲之精确的微型图像。 10.如申请专利范围第9项所述之微型图像的制作方 法,其中该等微流体层系以交错的方式依序布着于 该媒介物体上。 11.如申请专利范围第9项所述之微型图像的制作方 法,其中该等微流体层显影前的宽度大于该等微流 体层显影后之微型图像的宽度,而且,该等微流体 层显影前的高度大于该等微流体层显影后之微型 图像的高度。 图式简单说明: 第1a图为微液滴所形成之布膜结构的正视图。 第1b图为微液滴所形成之布膜结构的侧视图。 第2a、2b图表示本发明之单颗微液滴形成微型图像 的方法。 第3a-3d图表示本发明之单颗微液滴形成微型图像 的方法。 第4a-4d图表示本发明之利用混合显影形成微型图 像的方法。 第5图表示本发明以双液滴形成微型图像之方法。 第6a、6b图表示本发明以多液滴形成一微型图像之 微流体叠加布着方法。 第7a、7b图表示本发明之以多液滴形成一微型图像 之微流体叠加布着方法。 第8a-8c图表示本发明交错布着之彩色微型图像的 制造方法。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号