| 主权项 |
1.一种针测机装置档的产生方法,包括: 接收一晶圆影像地图,其中该晶圆影像地图包括关 于一晶圆上之复数个晶粒之实际位置的资讯; 接收一元件地图,其中该元件地图包括有关于哪些 晶粒将被测试并将在一整体测试程序(Routine)中依 序被辨识出来的资讯; 将该晶圆影像地图转换成与一半导体晶圆针测机 相容的一档案格式; 自动地映对该晶圆影像地图的复数个晶粒至该元 件地图,藉以使该晶圆影像地图的每一该些晶粒与 该元件地图之复数个晶粒其中一者相互关联对应; 以及 产生一完整的针测机装置档,其中该完整的针测机 装置档包括有整个该晶圆之该些晶粒测试中每一 该些晶粒的位置及测试资讯。 2.如申请专利范围第1项所述之针测机装置档的产 生方法,其中该晶圆影像地图包括晶圆摄影晶粒( Photo Die)资讯。 3.如申请专利范围第1项所述之针测机装置档的产 生方法,更包括显示一晶圆测试系统中该晶圆和与 该晶圆相关之元件测试状态的一即时(Real-Time)画 面。 4.如申请专利范围第3项所述之针测机装置档的产 生方法,其中该晶圆之该即时画面包括绘示良好晶 粒与不良晶粒的即时测试结果。 5.如申请专利范围第1项所述之针测机装置档的产 生方法,其中该自动地映对该晶圆影像地图之该些 晶粒至该元件地图的步骤系在实质无使用者输入 的情况下发生。 6.如申请专利范围第1项所述之针测机装置档的产 生方法,更包括提出一初始晶圆地图给一使用者, 以供该使用者核对。 7.如申请专利范围第1项所述之针测机装置档的产 生方法,其中该产生该完整的针测机装置档之步骤 系在该使用者认可之后发生。 8.一种针测机装置档的产生方法,包括: 接收一晶圆影像地图,其中该晶圆影像地图包括关 于一晶圆上之复数个晶粒之实际位置的资讯; 将该晶圆影像地图转换成与一半导体晶圆针测机 相容的一档案格式; 接收一元件地图,其中该元件地图包括有关于哪些 晶粒将被测试并将在一整体测试程序中依序辨识 被辨识出来的资讯; 自动地映对该晶圆影像地图的复数个晶粒至该元 件地图,藉以使该晶圆影像地图的每一该些晶粒与 该元件地图之复数个晶粒其中一者相互关联对应; 显示一初始晶圆地图以提供一使用者进行核对;以 及 依据该该使用者对该初始晶圆地图的正面回应,产 生一完整的针测机装置档,其中该完整的针测机装 置档包括有整个该晶圆之该些晶粒测试中每一该 些晶粒的位置及测试资讯。 9.如申请专利范围第8项所述之针测机装置档的产 生方法,其中该晶圆影像地图包括晶圆摄影晶粒资 讯。 10.如申请专利范围第8项所述之针测机装置档的产 生方法,更包括显示一晶圆测试系统中该晶圆和与 该晶圆相关之元件测试状态的一即时画面。 11.如申请专利范围第10项所述之针测机装置档的 产生方法,其中该晶圆之该即时画面包括绘示良好 晶粒与不良晶粒的即时测试结果。 12.如申请专利范围第8项所述之针测机装置档的产 生方法,其中该自动地映对该晶圆影像地图的晶粒 至该元件地图的步骤,系在实质无使用者输入的情 况下发生。 13.一种晶粒封装方法,系在一晶圆上封装一晶粒, 该晶粒封装方法包括: 接收一晶圆影像地图,其中该晶圆影像地图包括关 于一晶圆上之复数个晶粒之实际位置的资讯; 接收一元件地图,其中该元件地图包括有关于哪些 晶粒将被测试并将在一整体测试程序(Routine)中依 序被辨识出来的资讯; 将该晶圆影像地图转换成与一半导体晶圆针测机 相容的一档案格式; 自动地映对该晶圆影像地图的复数个晶粒至该元 件地图,藉以使该晶圆影像地图的每一该些晶粒与 该元件地图之复数个晶粒其中一者相互关联对应; 产生一完整的针测机装置档,其中该完整的针测机 装置档包括有整个该晶圆之该些晶粒测试中每一 该些晶粒的位置及测试资讯;以及 藉由该完整的针测机装置档来封装整个该晶圆之 该些晶粒。 14.如申请专利范围第13项所述之晶粒封装方法,其 中该晶圆影像地图包括晶圆摄影晶粒资讯。 15.如申请专利范围第13项所述之晶粒封装方法,更 包括显示一晶圆测试系统中该晶圆和与该晶圆相 关之元件测试状态的一即时画面。 16.如申请专利范围第15项所述之晶粒封装方法,其 中该晶圆之该即时画面包括绘示良好晶粒与不良 晶粒的即时测试结果。 17.如申请专利范围第13项所述之晶粒封装方法,其 中该自动地映对该晶圆影像地图之该些晶粒至该 元件地图的步骤系在实质无使用者输入的情况下 发生。 18.如申请专利范围第13项所述之晶粒封装方法,更 包括:提出一初始晶圆地图给一使用者,以供该使 用者核对。 19.如申请专利范围第13项所述之晶粒封装方法,其 中该产生该完整的针测机装置档之步骤系在该使 用者认可之后发生。 20.如申请专利范围第13项所述之晶粒封装方法,其 中该封装整个该晶圆之该些晶粒之步骤包括:封装 已被辨识为良好元件的该些晶粒。 图式简单说明: 第1图系绘示晶圆探针测试的设置方块图。 第2图系绘示建构针测机装置档之习知步骤的流程 图第3图系绘示描述自动产生针测机装置档之资料 流的流程图。 第4图至第5图系绘示帮助针测机装置档自动产生 的图形化使用者介面图。 第6图系绘示本发明所述之方法之最终确认步骤的 使用者介面图。 |
