高分子化合物、正型光阻组成物及光阻图型之形成方法

摘要

本发明为提供一种正型光阻组成物，其为含有具下述式(1)或式(1)’所示结构单位所成群中所选出之1种以上单位(a1)、由含有具内酯之环式基的(α-低级烷基)丙烯酸酯所衍生之单位(a2)及，单位(a1)与单位(a2)以外之由含有具脂肪族环式基之非酸解离性溶解抑制基，且不含极性基之(α-低级烷基)丙烯酸酯所衍生之单位(a3)的高分子化合物，〔式中，R为氢原子、氟原子或碳数20以下之低级烷基或碳数20以下之氟化低级烷基，R1为可具有取代基之20员环以下之环式基，n为0或1至5之整数，m为0或1〕。

主权项

1.一种高分子化合物,其特征为含有下述式(1)或式( 1)'所示结构单位所成群中所选出之1种以上结构单 位(a1), 含有具内酯之单环或多环式基的(-低级烷基)丙 烯酸酯所衍生之结构单位(a2)及, 前述结构单位(a1)与结构单位(a2)以外的结构单位 之由含有具脂肪族环式基之非酸解离性溶解抑制 基,且不含极性基之(-低级烷基)丙烯酸酯所衍生 之结构单位(a3)的高分子化合物