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发明名称 RESIST PATTERN FORMING APPARATUS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100811964(B1) 申请公布日期 2008.03.10
申请号 KR20010059540 申请日期 2001.09.26
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;H01L21/027;B05C11/00;B05C11/08;B05D1/40;B05D3/00;G03F7/20;G03F7/30;H01L21/00 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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