发明名称 CLEANING SOLUTION USED IN A PROCESS FOR FORMING DUAL DAMASCENE STRUCTURE AND A METHOD OF TREATING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100810953(B1) 申请公布日期 2008.03.10
申请号 KR20030062499 申请日期 2003.09.08
申请人 发明人
分类号 G03F7/32;H01L21/768;C11D7/32;C11D11/00;H01L21/304;H01L21/308;H01L21/311 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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