DEVICE COMPRISING A CAPACITIVE ENERGY CONVERTER THAT IS INTEGRATED ON A SUBSTRATE

摘要

Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung, insbesondere ein Mikrosystem, mit einer Einrichtung zur Energieumwandlung, die eine Elektrodenstruktur (3) zur kapazitiven Umwandlung von mechanischer Energie in elektrische Energie aufweist, wobei die Elektrodenstruktur (3) eine erste Elektrode (4) und eine zweite Elektrode (5) mit relativ zu der ersten Elektrode (4) veränderbarem Abstand aufweist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst ferner eine Lastschaltung, über welche die erste und die zweite Elektrode (4, 5) elektrisch leitend miteinander verbunden sind. Ferner ist ein Übertrager (8) mit der zweiten Elektrode (5) gekoppelt, wobei durch eine Bewegung des Übertragers (8) der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Elektrode (4, 5) veränderbar ist und wobei die Bewe- gung des Übertragers (8) berührungslos durch Wechselwirkung des Übertragers (8) mit einem sich bewegenden Teil bewirkbar ist.