DEVICE FOR ENERGY CONVERSION, IN PARTICULAR A PIEZOELECTRIC MICROPOWER CONVERTER

摘要

Es wird eine Vorrichtung, insbesondere ein Mikrosystem, beschrieben, die eine Einrichtung zur Energieumwandlung umfasst. Die Einrichtung zur Energieumwandlung weist eine pie- zoelektrische, mechanische schwingfähige Membranstruktur (3) zur Umwandlung von mechanischer Energie in elektrische Energie und/oder umgekehrt auf, wobei die Membranstruktur (3) in einer Umgebung verkapselt angeordnet ist, die einen vorbestimmten Druck aufweist, der insbesondere geringer als ein isostatischer Druck ist.