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经营范围
发明名称
SUBSTRATE SUPPORTING UNIT, AND SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号
KR100810801(B1)
申请公布日期
2008.03.06
申请号
KR20060050299
申请日期
2006.06.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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