| 发明名称 |
BEHANDLUNGSKAMMER MIT EINEM OPTISCHEN FENSTER, DAS MIT BEHANDLUNGSGAS GEREINIGT IST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60037805(D1) |
申请公布日期 |
2008.03.06 |
| 申请号 |
DE20006037805 |
申请日期 |
2000.03.30 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
NI, TUQUIANG;COLLISON, WENLI |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/302;G01B11/00;G02B7/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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