激光辅助直接压印平板印刷术

摘要

根据本发明，图形可以直接压印在固态基材的表面。特别是，通过为压印图案提供具有模制表面的印模(20)，将模制表面(21)放置在要压印基材(24)表面(25)的附近或反面，并用辐射照射基材表面以软化或液化表面的步骤，用所需图案直接压印基材。将模制表面压入软化或液化的表面以直接压印基材。基材可以是多种固态材料中的任何一种，比如半导体、金属或聚合物。在一个优选实施方案中，基材是硅，激光是UV激光，且印模对于UV辐射是透明的以便通过透明印模照射硅工件。采用此方法，申请人已经在亚-250ns的时间内，以亚-10nm的分辨率直接在硅上压印了大面积图案。该方法也可以用平坦的模制表面用于平面化基材。

主权项

1.在基材表面直接压印印模图案的方法，其包括以下步骤：提供具有模制表面的印模以压印图案；将印模放置于基材的附近，使模制表面邻近要压印基材的表面；用辐射照射基材表面以软化或液化基材表面；将模制表面压入软化或液化的基材表面；和从基材移走模制表面，得到压印有模制表面图案的基材。