| 发明名称 | 制造宽压模的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制造宽压模的方法。该方法包括：将其中打孔有第一图案的第一掩模层叠在正性光刻胶层上；将第一掩模的上表面曝光；显影正性光刻胶层以形成凹版图案；以及进行模制，从而形成与凹版图案相对应的凸版图案，使用该方法通过简单的工艺可制造具有多个层次的宽压模。 | ||
| 申请公布号 | CN101135841A | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200710147982.7 | 申请日期 | 2007.08.30 |
| 申请人 | 三星电机株式会社 | 发明人 | 罗承铉;李春根;李上文;赵在春 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | G03F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 章社杲;吴贵明 |
| 主权项 | 1.一种制造宽压模的方法，所述方法包括：将第一掩模层叠在正性光刻胶层上，所述第一掩模中打孔有第一图案；将所述第一掩模的上表面曝光；显影所述正性光刻胶层以形成凹版图案；以及进行模制，从而形成与所述凹版图案相对应的凸版图案。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||