发明名称 图像传感器和其制造方法
摘要 本发明提供一种图像传感器。该图像传感器包括第一钝化层、滤色器层、微透镜、最上导电层、第二钝化层和第三钝化层。第一钝化层形成在基板上,该基板包括预定的像素部分和逻辑电路焊盘部分。滤色器层和微透镜形成在与像素部分对应的第一钝化层的部分上。最上导电层形成在与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层的部分上。第二钝化层形成在与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层上,以使最上导电层的一部分暴露。第三钝化层形成在第二钝化层上,以暴露最上导电层。
申请公布号 CN101136424A 申请公布日期 2008.03.05
申请号 CN200710147181.0 申请日期 2007.08.30
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 金荣毕
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L23/485(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 夏凯;钟强
主权项 1.一种图像传感器,包括:位于基板上的第一钝化层,所述第一钝化层包括像素部分和逻辑电路焊盘部分;滤色器层,形成在与像素部分对应的第一钝化层的部分上;微透镜,形成于像素部分上的滤色器层上;最上导电层,形成于与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层的部分中;第二钝化层,位于与逻辑电路焊盘部分对应的第一钝化层上,并形成该第二钝化层以使最上导电层的一部分暴露;以及第三钝化层,位于逻辑电路焊盘部分上的第二钝化层上,并形成该第三钝化层以暴露最上导电层。
地址 韩国首尔