| 发明名称 | 掩模盒 | ||
| 摘要 | 一种掩模盒，用于放置掩模板，所述掩膜板上形成有图案，该掩膜盒包括盒体、盒盖和位于所述盒体上的用于支撑所述掩模板的支撑部，其中，所述支撑部具有与所述掩膜板接触的接触端，所述接触端与所述图案之间有距离。本实用新型的掩模盒能够减少支撑部对掩模板上图案的磨损，提高掩模板的使用寿命，减少曝光过程中的误差。 | ||
| 申请公布号 | CN201032516Y | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200720067461.6 | 申请日期 | 2007.02.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王跃刚;章磊;周从树;张伟 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李文红 |
| 主权项 | 1.一种掩模盒，用于放置掩模板，所述掩膜板上形成有图案，该掩膜盒包括盒体、盒盖和位于所述盒体上的用于支撑所述掩模板的支撑部，其中，所述支撑部具有与所述掩膜板接触的接触端，其特征在于：所述接触端与所述图案之间有距离。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||