发明名称 |
喷水激光切割用粘合片 |
摘要 |
本发明的目的在于,提供一种喷水激光切割用粘合片,在喷水激光切割中,可以一边维持来自液体流的液体的透过性,一边在切割后的拾取时获得充分的扩展性。其结果是,在剥离芯片或IC部件等时,可以在邻接的芯片等之间确保适当的空间,并且不会产生由于芯片间的接触、拾取产生的碰撞等导致的缺损等缺陷,可以加工极薄的半导体晶片或材料。本发明涉及一种喷水激光切割用粘合片,该粘合片是在基材膜上叠层粘合剂层而形成的,其中,该粘合片具有穿孔,且空隙率为3~90%,并且其断裂伸长率为100%以上。 |
申请公布号 |
CN101134876A |
申请公布日期 |
2008.03.05 |
申请号 |
CN200710146801.9 |
申请日期 |
2007.08.24 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
三木翼;浅井文辉;高桥智一;佐佐木贵俊;新谷寿朗;山本晃好 |
分类号 |
C09J7/02(2006.01);C09J133/02(2006.01);C09J121/00(2006.01) |
主分类号 |
C09J7/02(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
宋莉 |
主权项 |
1.一种喷水激光切割用粘合片,该粘合片是在基材膜上叠层粘合剂层而形成的,其中,该粘合片具有穿孔,且空隙率为3~90%,并且其断裂伸长率为100%以上。 |
地址 |
日本大阪府 |