发明名称 喷水激光切割用粘合片
摘要 本发明的目的在于,提供一种喷水激光切割用粘合片,在喷水激光切割中,可以一边维持来自液体流的液体的透过性,一边在切割后的拾取时获得充分的扩展性。其结果是,在剥离芯片或IC部件等时,可以在邻接的芯片等之间确保适当的空间,并且不会产生由于芯片间的接触、拾取产生的碰撞等导致的缺损等缺陷,可以加工极薄的半导体晶片或材料。本发明涉及一种喷水激光切割用粘合片,该粘合片是在基材膜上叠层粘合剂层而形成的,其中,该粘合片具有穿孔,且空隙率为3~90%,并且其断裂伸长率为100%以上。
申请公布号 CN101134876A 申请公布日期 2008.03.05
申请号 CN200710146801.9 申请日期 2007.08.24
申请人 日东电工株式会社 发明人 三木翼;浅井文辉;高桥智一;佐佐木贵俊;新谷寿朗;山本晃好
分类号 C09J7/02(2006.01);C09J133/02(2006.01);C09J121/00(2006.01) 主分类号 C09J7/02(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 宋莉
主权项 1.一种喷水激光切割用粘合片,该粘合片是在基材膜上叠层粘合剂层而形成的,其中,该粘合片具有穿孔,且空隙率为3~90%,并且其断裂伸长率为100%以上。
地址 日本大阪府