| 发明名称 | 具有冷却构件的夹盘组件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种夹盘组件，包括：荫罩，形成有预定的图案；荫罩框架，支持所述荫罩并具有热辐射和冷却功能；基底，与荫罩对齐并且来自沉积源的沉积材料被沉积在其上；夹盘，将所述基底附在荫罩上，该夹盘包括冷却剂循环管。考虑荫罩的温度优化基底的温度，从而由于热变形导致的对齐误差被最小化。即，防止荫罩本身的温度上升，从而防止由于热膨胀导致的荫罩的变形，提高了基底图案位置的精确度。 | ||
| 申请公布号 | CN100373541C | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200610000330.6 | 申请日期 | 2006.01.04 |
| 申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 韩尚辰;李星昊;许明洙;郑锡宪;宋官燮;康熙哲 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/20(2006.01);H01L21/683(2006.01);C23C14/04(2006.01);C23C16/04(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;李友佳 |
| 主权项 | 1.一种夹盘组件，包括：荫罩，形成有预定的图案；荫罩框架，荫罩被附着到其上；冷却板，安装在荫罩框架暴露于沉积源的部分，所述冷却板被安装以完整的围绕所述荫罩，其中，所述冷却板具有面向膜生长区域延伸的内部部分，所述内部部分呈锥形。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||