双线振动硅微陀螺仪

摘要

本发明涉及一种双线振动硅微陀螺仪。该陀螺仪由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，陀螺仪上层机械结构的内框架通过检测支承梁与外框架相连，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线、驱动输入引线、敏感输出信号引线，上层机械结构通过固定基座对应安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层机械结构部分悬空在下层玻璃衬底部分之上，其特征在于：驱动支承梁和检测支承梁采用U型梁的结构。本发明采用内外支承梁将驱动部分与检测部分分开，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，从而减小误差信号；支承梁采用U型梁的结构，有效地释放了热应力，并有效地抑制了正交耦合误差信号。

主权项

1.一种双线振动硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，陀螺仪上层机械结构的内框架(7)通过检测支承梁(5a、5b、5c、5d)与外框架(6)相连，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线(8)、驱动输入引线(9a、9b)、敏感输出信号引线(10a、10b)，上层机械结构通过固定基座(1a、1b、1c、1d)对应安装在玻璃衬底上的固定基座键合点(11a、11b、11c、11d)上，使上层机械结构部分悬空在下层玻璃衬底部分之上，其特征在于：驱动支承梁(4a、4b、4c、4d)和检测支承梁(5a、5b、5c、5d)采用U型梁的结构。