| 发明名称 | 电子束加热源真空镀膜 | ||
| 摘要 | 电子束加热源真空镀膜是属热处理行业领域。特别是一种用电子束来作为加热蒸发源的真空镀膜机。设备主要是用电子束加热的方法来给蒸发源进行加热。电子束的高能电子打到坩埚的镀膜材料上时，绝大部分电子被复合形成束流，同时，电子将动能转变成热能加热熔化蒸发镀膜材料。为了保证电子枪稳定地工作，电子枪的真空度因保持在5*10<SUP>－2</SUP>Pa以上，其主要的结果有：e型电子束加热枪1、活化极2、活化极电源3、工件偏压电原4、抽真空系统5、工件6、真空炉体7等组成。 | ||
| 申请公布号 | CN101135041A | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200710132925.1 | 申请日期 | 2007.09.20 |
| 申请人 | 吴江市天地人真空炉业有限公司 | 发明人 | 李荣华 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01) | 主分类号 | C23C14/30(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.该镀膜机有两个室组成，即电子抢室和镀膜室。 | ||
| 地址 | 215200江苏省吴江市松陵(八坼)开发区吴江市天地人真空炉业有限公司 | ||