发明名称 |
一种用于高压漏极扩展NMOS的栅极耦合的防静电保护结构 |
摘要 |
本发明公开了一种用于高压漏极扩展NMOS的栅极耦合的防静电保护结构,其在原有NMOS结构外增加一个利用金属硅化物阻挡工艺形成的N型浅注入结构电阻。由于在原有NMOS结构外增加一个N型浅注入结构电阻,从而有助于拉高栅极电压并形成一个峰值,而衬底电流也会随着栅极电压的增加而增大,这也更有利于NMOS寄生NPN三极管的开启,从而提高其静电保护的能力。 |
申请公布号 |
CN101136400A |
申请公布日期 |
2008.03.05 |
申请号 |
CN200610030532.5 |
申请日期 |
2006.08.29 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
苏庆 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01);H01L23/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01) |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 |
代理人 |
顾继光 |
主权项 |
1.一种用于高压漏极扩展NMOS的栅极耦合的防静电保护结构,其特征在于:在原有NMOS结构外增加一个利用金属硅化物阻挡工艺形成的N型浅注入结构电阻。 |
地址 |
201206上海市浦东新区川桥路1188号 |