发明名称 一种用于高压漏极扩展NMOS的栅极耦合的防静电保护结构
摘要 本发明公开了一种用于高压漏极扩展NMOS的栅极耦合的防静电保护结构,其在原有NMOS结构外增加一个利用金属硅化物阻挡工艺形成的N型浅注入结构电阻。由于在原有NMOS结构外增加一个N型浅注入结构电阻,从而有助于拉高栅极电压并形成一个峰值,而衬底电流也会随着栅极电压的增加而增大,这也更有利于NMOS寄生NPN三极管的开启,从而提高其静电保护的能力。
申请公布号 CN101136400A 申请公布日期 2008.03.05
申请号 CN200610030532.5 申请日期 2006.08.29
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 苏庆
分类号 H01L27/02(2006.01);H01L23/60(2006.01) 主分类号 H01L27/02(2006.01)
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 顾继光
主权项 1.一种用于高压漏极扩展NMOS的栅极耦合的防静电保护结构,其特征在于:在原有NMOS结构外增加一个利用金属硅化物阻挡工艺形成的N型浅注入结构电阻。
地址 201206上海市浦东新区川桥路1188号