发明名称 |
切削装置 |
摘要 |
在切削装置中,卡盘台只有位于装卸区域的被设定的位置上时,才可以任意开关安全罩,确保安全性,在安全罩打开后的加工工序中不招致操作性的下降。切削装置至少由卡盘台、卡盘台移动机构和切削机构构成,在装卸区域上设置有可以开关的安全罩、限制该安全罩开关的安全罩开关控制机构以及检测该安全罩开关状态的安全罩开关检测传感器,在该卡盘台移动机构上设置有卡盘台位置检测传感器,在卡盘台上设置有遮蔽板,至少通过该安全罩开关控制机构、该安全罩开关检测传感器和该卡盘台位置检测传感器形成安全回路,该安全回路在该卡盘台的位置被定位在该装卸区域时,释放该安全罩开关控制机构,允许该安全罩开关。 |
申请公布号 |
CN100373555C |
申请公布日期 |
2008.03.05 |
申请号 |
CN200410058792.4 |
申请日期 |
2004.07.30 |
申请人 |
株式会社迪思科 |
发明人 |
高桥聪 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01);H01L21/301(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
何腾云 |
主权项 |
1.一种切削装置,至少由卡盘台、卡盘台移动机构和切削机构构成,该卡盘台具有保持被加工物的卡盘区域;该卡盘台移动机构将该卡盘台向装卸被加工物的装卸区域和对被加工物进行切削加工的加工区域移动并进行定位;该切削机构可以旋转地设有切削刀,并且该切削机构被设置在该加工区域;其特征在于,在该装卸区域中设置有可以开关的安全罩、限制该安全罩开关的安全罩开关控制机构以及检测该安全罩开关状态的安全罩开关检测传感器,在该卡盘台移动机构上设置有卡盘台位置检测传感器,该传感器检测该卡盘台是否被定位在该装卸区域,在卡盘台上设置有遮蔽板,该遮蔽板在卡盘台被定位在该装卸区域时,遮蔽该加工区域和该装卸区域;至少通过该安全罩开关控制机构、该安全罩开关检测传感器和该卡盘台位置检测传感器形成安全回路,该安全回路在该卡盘台被定位在该装卸区域时,释放该安全罩开关控制机构,允许该安全罩开关。 |
地址 |
日本东京都 |