| 发明名称 | 台架设备及其控制方法 | ||
| 摘要 | 一种台架设备包括：一对第一引导件，相互平行地放置；一对滑动件，分别结合到所述一对第一引导件上以与该第一引导件一起移动；第二引导件，结合到所述一对滑动件上沿着该滑动件移动；头部，结合到所述第二引导件上以便和所述第二引导件一起移动并沿着该第二引导件移动；转动单元，设置在所述滑动件和所述第二引导件之间并绕着轴线转动所述第二引导件，所述轴线与所述滑动件和所述头部的移动方向垂直。所述台架设备能够在不同的方向调整所述头部的运动。 | ||
| 申请公布号 | CN100373578C | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200510077400.3 | 申请日期 | 2005.06.23 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 金东亿;崔相轸;吴种汉 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/20(2006.01);G02F1/133(2006.01);C23C16/458(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;李友佳 |
| 主权项 | 1.一种台架设备，包括：一对第一引导件，相互平行地放置；一对滑动件，分别结合到所述一对第一引导件上以沿着所述第一引导件移动；第二引导件，结合到所述一对滑动件上以与所述滑动件一起移动；头部，结合到所述第二引导件上，能够与所述第二引导件一起移动，并能够沿着所述第二引导件移动；转动单元，包括驱动单元和弧形驱动接触部分，所述转动单元设置在所述滑动件和所述第二引导件之间以控制所述第二引导件绕着垂直于所述滑动件和头部的移动方向的线转动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||