| 发明名称 | 涂敷装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种涂敷装置，其能减弱外部振动的影响，特别是能有效抑制因外部振动而引起的共振。在支撑载台(2)和狭缝喷嘴移动机构的方管(20、21a～21c)的凹部(30)中，填装防共振部件(31)。由于在方管中填装防共振部件可改变基座(1)的固有振动频率，因此不会因外部振动而变成共振状态。 | ||
| 申请公布号 | CN101134189A | 申请公布日期 | 2008.03.05 |
| 申请号 | CN200710145586.0 | 申请日期 | 2007.08.28 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社;龙云株式会社 | 发明人 | 宫本英典;升芳明;池尻浩一;曽根康博 |
| 分类号 | B05C5/00(2006.01);B05C11/00(2006.01) | 主分类号 | B05C5/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 雒运朴;李伟 |
| 主权项 | 1.一种涂敷装置，利用喷嘴移动机构使狭缝喷嘴移动，向放置于载台上的衬底涂敷涂敷液，其特征在于：在支撑上述喷嘴移动机构的框架上设置有凹部，在该凹部中填充了固有振动频率与上述框架不同的防共振部件。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||